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提高半导体激光器光功率稳定性的方法

基本信息

申请号 CN200910026832.X 申请日 -
公开（公告）号 CN101567517B 公开（公告）日 2010-11-17
申请公布号 CN101567517B 申请公布日 2010-11-17
分类号 H01S5/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李明 申请（专利权）人 江苏镇江农村商业银行股份有限公司
代理机构 镇江京科专利商标代理有限公司 代理人 夏哲华
地址 212000 江苏省镇江市京口开发区金阳大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体光电器件的制造技术，涉及一种提高半导体激光器光功率稳定性的方法。该方法是在封帽机上对激光器组件进行烘烤和封装，依次经过以下步骤，a.将未封装的激光器组件放入封帽机自带的真空烘箱中；b.对真空烘箱抽真空再充入干燥氮气；c.重复步骤b若干次；d.打开真空烘箱的加热开关，设定加热温度为100～110℃，加热时间为12～18小时，在加热过程中维持真空烘箱内气压小于1毫米汞柱；e.加热完成后向真空烘箱中充入干燥氮气至气压为760毫米汞柱，将真空烘烤过的激光器组件转移到密封操作箱，完成对激光器组件的封盖过程。本发明既提高了半导体激光器光功率的稳定性，同时缩短了真空烘烤时间，节省了成本。