一种显示基板的制备方法、显示基板和显示装置

基本信息

申请号 CN202110298554.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113066802A 公开(公告)日 2021-07-02
申请公布号 CN113066802A 申请公布日 2021-07-02
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈亮;高锦成;钱海蛟;姜涛;刘泽旭;汪涛;赵立星;张冠永;柳泉洲;刘建涛 申请(专利权)人 合肥京东方显示技术有限公司
代理机构 北京市铸成律师事务所 代理人 王云红;包莉莉
地址 230012安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E区15幢综合楼
法律状态 -

摘要

摘要 本公开实施例提供一种显示基板的制备方法,包括:在薄膜晶体管结构背离衬底基板的一侧形成第二绝缘层;在第二绝缘层背离衬底基板的一侧依次形成色阻层和第三绝缘层,第三绝缘层开设有第一过孔和第二过孔,第一过孔在衬底基板上的正投影与源漏金属层在衬底基板上的正投影至少部分相交,第一过孔与第二绝缘层之间保留有色阻层和/或第三绝缘层,第二过孔暴露出第二绝缘层;采用刻蚀工艺对第一过孔位置和第二过孔位置进行刻蚀,在第一过孔位置暴露出至少部分源漏金属层,在第二过孔位置暴露出至少部分栅金属层。本公开的技术方案,可以避免第一过孔位置的金属过早暴露,防止第一过孔位置的金属氧化严重,避免产品出现显示不良。