改善金刚石/镁复合电子封装材料界面结合的镀层及方法

基本信息

申请号 CN201810971603.4 申请日 -
公开(公告)号 CN109321882B 公开(公告)日 2019-02-12
申请公布号 CN109321882B 申请公布日 2019-02-12
分类号 C23C14/24(2006.01)I; 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 邹宏辉;温军国;史学栋;陈东旭;陈松;马志新;任思远 申请(专利权)人 北京有研特材科技有限公司
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 陈波
地址 361100福建省厦门市厦门火炬高新区同集园同源路327号、329号、331号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了属于材料冶金技术领域的改善金刚石/镁复合电子封装材料界面结合的镀层及方法。所述镀层包括35.0~45.0wt.%锆、余量钇,具体利用蒸镀在金刚石颗粒表面镀上0.1μm~0.2μm的锆钇合金镀层,从而大幅改善金刚石/镁复合材料界面结合状态,显著提高金刚石/镁电子封装材料热导率,并提高了两者界面结合的高温与室温强度。