一种化学液处理回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202022586253.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214597534U | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN214597534U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | B01D29/50（2006.01）I;B01D29/03（2006.01）I;B01D29/01（2006.01）I;B01D29/56（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 徐权锋 | 申请（专利权）人 | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴圳添 |
| 地址 | 361000福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区春风路6号第三层301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种化学液处理回收装置，包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块和导流板，所述预处理罐顶端设置有进液装置，预处理罐右侧设置有导管，所述导管上设置有泵体，导管一端与预处理器相通，另一端设置有三通管，所述三通管一端设置有第一输送管，所述第一输送管上设置有第一止回阀，所述三通管另一端设置有第二输送管，第二输送管与第二容器相通，本实用新型的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问。 |
