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一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘

基本信息

申请号	CN202110667887.X	申请日	-
公开（公告）号	CN113565885A	公开（公告）日	2021-10-29
申请公布号	CN113565885A	申请公布日	2021-10-29
分类号	F16D1/08;F16B21/12;H01L21/683	分类	工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热;
发明人	许志雄	申请（专利权）人	芯米（厦门）半导体设备有限公司
代理机构	厦门仕诚联合知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	蔡稷元
地址	361000 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区春风路6号第三层301
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘，具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘包括卡榫、动力单元和吸盘本体，动力单元设置有容置凹槽，空心轴上设置有安装孔。卡榫的中部设置有避让轴段，沿着避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，固定轴段与避让轴段之间设置有配合轴段，配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面。卡榫通过配合平面安装在凹槽内，吸盘本体与动力单元之间是为上下套接的状态，吸盘本体由上至下的套接在动力单元的输出轴上。而通过避让轴段可以连通中心孔与吸盘本体上的真空气道，使得吸盘本体的顶面上具有吸附力。利用卡榫与凹槽的配合，以及凹槽、安装孔和吸盘本体顶面相互平行的设置，以保证配合精度，提高晶圆生产的质量。