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双缓冲型光阻液喷涂系统

基本信息

申请号 CN202010263934.X 申请日 -
公开（公告）号 CN111451061B 公开（公告）日 2021-12-31
申请公布号 CN111451061B 申请公布日 2021-12-31
分类号 B05B15/40（2018.01）I;B05B9/04（2006.01）I;B05B12/14（2006.01）I;B01D35/12（2006.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 尹安和 申请（专利权）人 芯米（厦门）半导体设备有限公司
代理机构 厦门仕诚联合知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 吴圳添
地址 361000福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区春风路6号第三层301
法律状态 -

摘要

摘要 一种双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：第一储液罐，第一过滤器；第一缓冲器；所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；所述第一缓冲器连接有第一回抽管；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；第二储液罐；第二过滤器；第二缓冲器；所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；所述第二缓冲器连接有第二回抽管；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；还包括以下两种结构的其中一种：第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵。所述双缓冲型光阻液喷涂系统能够更好地节省光阻液，并且保证光阻液供应不停机。