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晶圆表面干燥吹扫设备

基本信息

申请号 CN202022586331.1 申请日 -
公开（公告）号 CN214099588U 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN214099588U 申请公布日 2021-08-31
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 许志雄 申请（专利权）人 芯米（厦门）半导体设备有限公司
代理机构 厦门仕诚联合知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 吴圳添
地址 361000福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区春风路6号第三层301
法律状态 -

摘要

摘要 晶圆表面干燥吹扫设备，包括机架、干燥架、氮气供应装置、清洗箱以及夹持块，所述机架内置工作空腔，工作空腔前端设置密封门，所述机架顶端设置驱动电机，所述驱动电机输出端设置旋转杆，所述旋转杆远离驱动电机一端穿过机架侧壁伸入工作空腔内，所述旋转杆远离驱动电机一端设置干燥架，所述干燥架矩形框架，所述干燥架左右两侧内壁设置第一液压杆，干燥架上下两侧侧壁设置第二液压杆，所述第一液压杆以及第二液压杆输出端设置夹持块，所述夹持块远离干燥架侧壁一端设置凹槽，所述工作空腔左侧底端设置氮气供应装置，所述工作空腔位于干燥架左侧设置氮气喷嘴，所述氮气供应装置输出端与氮气喷嘴之间设置输送管道。