显影液分类回收处理设备
基本信息
申请号 | CN202022588351.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214597458U | 公开(公告)日 | 2021-11-05 |
申请公布号 | CN214597458U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
分类号 | B01D29/03(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 许志雄 | 申请(专利权)人 | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 |
代理机构 | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 吴圳添 |
地址 | 361000福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区春风路6号第三层301 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型为显影液分类回收处理设备,包括壳体,所述壳体包括进料口、进料斗、成分检测器、第一收集罐、第二收集罐、第一排水管、第二排水管以及控制器,所述进料斗位于所述壳体的顶端,所述进料口位于所述壳体的顶端,所述进料口连通所述进料口的内部,所述成分检测器位于所述壳体的顶端,且所述成分检测器靠近所述进料斗,所述成分检测器上设有检测头,所述检测头连通所述进料斗的内部,通过成分检测器对进料斗内部的物料进行检测,如果是显影液将打开第一药业阀,如果是DI水将打开第二药业阀,通过第一收集罐和第二收集罐进行分类储存,通过第一排水管和第二排水管进行排放到工作人员指定区域。 |
