一种简便式腐蚀液加热槽装置
基本信息
| 申请号 | CN202123018256.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216411863U | 公开（公告）日 | 2022-04-29 |
| 申请公布号 | CN216411863U | 申请公布日 | 2022-04-29 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 姜北 | 申请（专利权）人 | 长沙韶普光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖南中泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 龙予倩 |
| 地址 | 410100湖南省长沙市长沙县铭诚绿谷智慧产业园19栋101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种简便式腐蚀液加热槽装置。所述简便式腐蚀液加热槽装置包括：加热槽体，所述加热槽体内设置有腐蚀液槽体，所述加热槽体上设置有升降机构和闭合机构；所述升降机构包括双轴电机、两个螺纹杆、升降板、两个内螺纹滑块和两个推杆，所述双轴电机设置在加热槽体内，两个所述螺纹杆分别转动安装在加热槽体的两侧内壁上，两个所述螺纹杆相互靠近的一端均与双轴电机固定连接，所述升降板设置在双轴电机的上方。本实用新型提供的简便式腐蚀液加热槽装置加热槽与容器紧密结合不会产生倾斜摇晃，溶液能得要充分地加热，腐蚀液加热槽保证了光刻版在腐蚀过程中能得到完整、清晰、准确的光刻图形，从而提高成品率和生产效率的优点。 |
