晶圆测试用旋转升降台
基本信息
| 申请号 | CN202022207349.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212907697U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212907697U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郑福志;田学光;高跃红;孙德举;王毓樟 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆测试用旋转升降台，包括驱动机构、导向机构、转动机构、工作台，导向机构位于驱动机构上方，且导向机构通过丝杠组与驱动机构连接，驱动机构通过丝杠组带动导向机构沿主导向轴与副导向轴上下运动；工作台位于导向机构上方，工作台随着导向机构上下运动；在转动机构的驱动下，工作台可与轴套一同以轴承中心为圆心转动。本实用新型采用多丝杆传动，双导向轴导向的方法使得旋转升降台获得更高的竖直运动直线度且具有高定位精度的特点，同时实现对晶圆旋转的精确矫正，从而能够更好的完成晶圆测试工作。 |
