一种探针台针痕检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110390687.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113075233A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN113075233A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王蕾;高跃红;田学光;郑福志;崔立志;金钊;帅智艳;沐阳 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针台针痕检测方法，通过建立运动线程和图像线程并行工作，使探针台的晶圆移动、图像处理、数据保存同时进行。本发明提供的针痕检测方法能够在晶圆测试过程中监测测试精度稳定性，保证测试良率，还能够监测针卡的使用情况，是否有针出现异常等；且采用双线程方式，同时进行运动和图像数据处理，极大地提高了检测效率。 |
