晶圆探针台自定义测试路径实现方法
基本信息
| 申请号 | CN202011391910.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112597742A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112597742A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | G06F40/166(2020.01)I;G06F11/36(2006.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 高跃红;王蕾;严大生;邱海斌;董明远;孙德举;崔立志;姜鑫 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。本发明能够实现测试路径的自定义，满足客户对测试路径灵活规划的需求，还能使路径最优化，节省测试时间、提高测试效率。 |
