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一种晶圆自动对针装置及方法

基本信息

申请号 CN202110120229.9 申请日 -
公开（公告）号 CN112798933A 公开（公告）日 2021-05-14
申请公布号 CN112798933A 申请公布日 2021-05-14
分类号 G01R31/28;G01R1/067;H01L21/68 分类 测量；测试;
发明人 田学光;高跃红;郑福志;孙德举;王蕾;王骕 申请（专利权）人 长春光华微电子设备工程中心有限公司
代理机构 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 高一明;郭婷
地址 130102 吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种晶圆自动对针装置及方法，包括：由镜头表面有十字丝标志的相机组成的图像采集组件、通过光栅尺进行定值运动的运动组件、数据处理组件、用于承载待对针晶圆的晶圆托盘、与待对针晶圆进行对针的探针卡；图像采集组件用于采集晶圆托盘、探针卡和待对针晶圆的图像，并将图像传递至数据处理组件；数据处理组件用于处理接收到的图像数据，并根据数据计算出对针参数；晶圆托盘与运动组件连接固定，通过运动组件驱动晶圆托盘进行运动。本发明通过图像识别及光栅尺定位的方式进行晶圆对针，可同时完成X向、Y向和Z向三个方向的对针；不借助于标定块，减少安装难度及对针操作步骤；对针方法简单，数据处理更加准确，提高对准精度和效率。