一种大负载晶圆针卡翻转调平机构
基本信息
| 申请号 | CN201910190485.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109870597B | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN109870597B | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王骕;田学光;郑福志;高跃红;孙德举 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 北京中理通专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘慧宇 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 具体涉及一种大负载晶圆针卡翻转调平机构，涉及半导体检测领域，为了解决现有技术存在的问题，其包括左立板、右立板、四根气弹簧组件、右旋转支臂机构、左旋转支臂机构、拉线机构、两个调整机构、上盖板和针卡固定组件；右旋转支臂机构固定在右立板上，左旋转支臂机构用螺钉固定在左立板上；两根气弹簧组件上端与右旋转支臂机构连接，下端与右立板相连；另外两根气弹簧组件上端与左旋转支臂机构相连，下端与左立板相连；拉线机构固定在右立板上；两个调整机构分别固定在左立板和右立板上；上盖板固定在两个调整机构、右旋转支臂机构和左旋转支臂机构上；针卡固定组件固定在上盖板上。该机构能够可靠稳定得使上盖板翻转，实现针卡高精度定位。 |
