夹持载台
基本信息
| 申请号 | CN202022907703.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213340329U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213340329U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 何艳;吴梦晗;常丰吉;邢鹏展;张男男;梁崑;李华;刘遵明;陈治衡 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭婷;高一明 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供夹持载台，包括：八轴同步运动的八轴中心定位组件、上工作台、下工作台；八轴中心定位组件包括同步进行夹持动作和/或同步解除夹持动作的X向夹持组件和Y向夹持组件；八轴中心定位组件、上工作台都与下工作台连接固定；陶瓷基板置于上工作台对应凹槽，通过八轴中心定位组件夹紧陶瓷基板边缘进行中心定位并固定。本实用新型通过X向联动机构与Y向联动机构进行运动的传递，实现X向夹持与Y向夹持同步进行，相比X向夹持与Y向夹持分别进行，提高中心定位精度，减少夹持动作所需时间与进行步骤，并减少夹持动作带给基板的冲击力。本实用新型还使用复位弹簧，利用柔性弹簧力来实现夹持功能。 |
