一种探针检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110388896.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113078072A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN113078072A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高跃红;王蕾;孙斌;武绍军;孙德举;李家奇;王毓樟;王纪彬 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针检测方法，通过在探针检测中增加分组测试程序，使晶圆上均匀分布多组待测区域，并以组为间隔进行同一晶圆待测区域内多路芯片同时测试；并构建可进行标准测试模式和分组测试模式的探针检测程序。本发明提供的探针检测方法，以group为间隔进行多site测试，解决了在传统分组测试模式中因为每组中site分布不均，而只能采用单site的测试方式的问题，极大缩短了测试时间，提高测试效率。同时构建了可以对所需检测模式进行选择的检测程序。 |
