激光加工设备上料系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202011418684.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112536539A | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN112536539A | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | B23K26/70(2014.01)I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 张男男;何艳;邢鹏展;吴梦晗;常丰吉;梁崑;李华;刘遵明;陈治衡 | 申请（专利权）人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭婷;高一明 |
| 地址 | 130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供激光加工设备上料系统及方法，包括：检测组件、运动组件、计算组件；运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置；检测组件用于检测待加工基板位置信息，并将检测结果传递至计算组件；计算组件用于对检测结果进行数据处理，并根据数据处理结果控制运动组件；计算组件将检测结果与标准模板进行对比，得出待加工基板与标准模板间的角度偏差值和空间偏差值，根据角度偏差值和空间偏差值计算出角度修正方案和空间修正方案，并通过运动组件进行角度修正和空间修正。本发明通过采用无夹持系统，避免了因夹持动作产生的基片损伤，减少了因夹持误差导致的废片产生，大大提升了放料的稳定性和整机的工作效率。 |
