一种电容器结构及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202210314864.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114420678B | 公开（公告）日 | 2022-06-07 |
| 申请公布号 | CN114420678B | 申请公布日 | 2022-06-07 |
| 分类号 | H01L23/64（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李文晓 | 申请（专利权）人 | 威海嘉瑞光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州三英知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 264200山东省威海市经济技术开发区崮山镇皂埠路南、金诺路西厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种电容器结构及其制作方法，涉及半导体芯片封装制造领域。本发明先形成电容介质层，再形成在电容介质层上的第一电极层，然后通过混合键合形成第一电极层的电互连，最后再形成第二电极层，这样可以使得电容器的各层都得到很好的支撑，不会产生倾斜或倾倒问题，保证电容器的可靠性。 |
