一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810034431.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108218419A | 公开（公告）日 | 2018-06-29 |
| 申请公布号 | CN108218419A | 申请公布日 | 2018-06-29 |
| 分类号 | C04B35/457;C04B35/626;C04B35/64 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 宁波纳诺特新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波奥圣专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宁波纳诺特新材料科技有限公司 |
| 地址 | 315300 浙江省宁波市慈溪市古塘街道担山北路145号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法，其在陶瓷坯体成型过程中，对模具保压的同时以150~220℃保温10~50min，实现坯体内部颗粒间的微区水热反应，达到物质传输、颗粒圆滑等目的；之后使模具升温至270~400℃并在该温度下继续保温保压10~50min，实现颗粒间水的超临界化，水中溶解的无机物在晶界均匀析出，最终达到晶粒间相互“焊接”的作用，从而有效提升坯体样块的致密度，有助于降低最终制得的ITO靶材的致密度和烧结温度；本发明实现了低于1500℃的致密烧结，得到的ITO靶材的晶粒尺寸为5~10μm，相对密度大于99.5%，内部结构全部为氧化铟的立方相结构，没有任何第二相物质产生。 |
