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一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法

基本信息

申请号 CN201810034431.8 申请日 -
公开（公告）号 CN108218419B 公开（公告）日 2018-06-29
申请公布号 CN108218419B 申请公布日 2018-06-29
分类号 C04B35/457(2006.01)I 分类 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 宁波纳诺特新材料科技有限公司
代理机构 宁波奥圣专利代理事务所（普通合伙） 代理人 宁波纳诺特新材料科技有限公司
地址 315300浙江省宁波市慈溪市古塘街道担山北路145号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法，其在陶瓷坯体成型过程中，对模具保压的同时以150~220℃保温10~50min，实现坯体内部颗粒间的微区水热反应，达到物质传输、颗粒圆滑等目的；之后使模具升温至270~400℃并在该温度下继续保温保压10~50min，实现颗粒间水的超临界化，水中溶解的无机物在晶界均匀析出，最终达到晶粒间相互“焊接”的作用，从而有效提升坯体样块的致密度，有助于降低最终制得的ITO靶材的致密度和烧结温度；本发明实现了低于1500℃的致密烧结，得到的ITO靶材的晶粒尺寸为5~10μm，相对密度大于99.5%，内部结构为氧化铟的立方相结构，没有任何第二相物质产生。