一种氮化钛锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201310514050.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103556119A | 公开（公告）日 | 2014-02-05 |
| 申请公布号 | CN103556119A | 申请公布日 | 2014-02-05 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张钧;丰宇;尹利燕;张健;焦悦;蔡佳婧 | 申请（专利权）人 | 贵州中德西格姆精密制造有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳东大专利代理有限公司 | 代理人 | 戚羽 |
| 地址 | 110044 辽宁省沈阳市大东区望花南街21号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种氮化钛锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法，其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明降低了镀膜成本，保证了低摩擦系数、高膜层硬度和高附着力的同时实现，减小膜层的内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。 |
