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一种低温等离子进样系统

基本信息

申请号 CN201520221919.3 申请日 -
公开（公告）号 CN204595010U 公开（公告）日 2015-08-26
申请公布号 CN204595010U 申请公布日 2015-08-26
分类号 G01N35/10(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 陆宇清;温元甲;范念平;王勇 申请（专利权）人 北京环宇亦鼓科技有限公司
代理机构 北京东正专利代理事务所（普通合伙） 代理人 北京环宇亦鼓科技有限公司;北京晟尚美嘉科技有限公司
地址 102208 北京市昌平区东小口镇龙德紫金3号楼306
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种低温等离子体进样系统,包括基板及设置在基板上的样品台模块、低温等离子模块和照相扫描模块；样品台模块中设有样品池、样品池移动驱动装置和样品池密封装置，样品池的两侧分别设有载气入口和载气出口，样品池设在样品池移动驱动装置上并在样品池移动驱动装置的驱动下在水平面上形成一定的运动区域，样品池密封装置用于对样品池进行密封；低温等离子模块用于对样品池中的样品进行剥蚀；照相扫描模块用于对样品池中的样品进行拍照。本实用新型具有结构简单、造价低廉、操作简便的优点，通过低温等离子体剥蚀样本表面得到的含有样本微小颗粒的气溶胶，可直接输送给相关元素分析仪器以实现进样，能满足快速处理固体样品的需求。