一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置
基本信息
| 申请号 | CN201910201846.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109837530B | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN109837530B | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | C23C16/513;C23C16/458;C23C16/02;C23C16/34;B24B19/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 潘文高;李朝明;韩虹;杜森;李运红 | 申请（专利权）人 | 上海离原环境科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200241 上海市闵行区东川路555号乙楼一层1001室（集中登记地） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置，包括底板、开放式箱体和镀膜箱，开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧，开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆，第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构，开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构，夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部，开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽。本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置，通过设有的打磨机构，能够对工件的表面打磨，减小工件表面的粗糙度，增强抛光工件镀膜后基体表面与薄膜的结合力，通过向清洗槽内注入特殊的清洗剂，利用超声波对油污层进行冲刷破坏。 |
