一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110788464.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113493896A | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN113493896A | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | C23C14/06（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈强;张而耕;周琼;黄彪;梁丹丹;李朝明 | 申请（专利权）人 | 上海离原环境科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾艳哲 |
| 地址 | 201418上海市奉贤区海泉路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法，其中涂层包括通过物理气相沉积法依次设于基底上的Ti层、TiN层、TiCN层以及TiCN/a‑C层。与现有技术相比，本发明中的Ti‑TiN‑TiCN‑TiCN/a‑C多层涂层，以金属Ti作为打底层、金属陶瓷TiN做过渡层的多层化设计方法，不仅提高了涂层与工模具表面的结合力，而且可以释放涂层生长应力，延长裂纹的扩展距离，使得涂层具有良好的韧性及抗热震性能，在提高工模具表面性能的同时，延长其使用寿命，并可适用于有色金属、高分子材料及黑色金属的成型加工，具有适用范围广、加工性能好等特点。 |
