SiC晶体生长炉测温窗
基本信息
| 申请号 | CN201110183818.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102337592B | 公开（公告）日 | 2013-10-30 |
| 申请公布号 | CN102337592B | 申请公布日 | 2013-10-30 |
| 分类号 | C30B29/36(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;G01J5/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李斌;王花;赵付超;周立平;王英民;高德平;毛开礼;徐伟;田牧;张蕾;乔卿;赵琳 | 申请（专利权）人 | 山西烁科新材料有限公司 |
| 代理机构 | 山西科贝律师事务所 | 代理人 | 中国电子科技集团公司第二研究所;山西烁科新材料有限公司 |
| 地址 | 030024 山西省太原市和平南路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种SiC晶体生长炉测温窗，解决了现有SiC晶体生长炉的观察窗容易被遮蔽的问题。包括炉体（1），与炉体（1）的底座（2）固定连接的法兰（3），在法兰（3）的中央设置有与炉体（1）的内部连通的测温窗孔，在测温窗孔上固定连接有夹层连接管（4），在夹层连接管（4）的外层管壁上连有进气管（5），在夹层连接管（4）的内层管壁（6）上沿内层管壁间隔地并与水平面平行地设置有一圈小进气孔（12），夹层连接管（4）的下端与观察窗玻璃（8）固定连接在一起，在夹层连接管（4）的下端的观察窗玻璃（8）的下方设置有红外测温头（10）。本发明的有益效果是，结构简单，成本低廉。 |
