一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010363526.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111534800B | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN111534800B | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | B22F5/00(2006.01)I;B22F3/17(2006.01)I;B22F3/10(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F3/02(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 文宏福;李培林 | 申请（专利权）人 | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李少欢 |
| 地址 | 523000广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法，包括1)粉末造粒步骤、2)热等静压步骤、3)热变形步骤和清洗加工步骤。通过本发明的制备方法，制造出组织成分均匀、平均晶粒度小、含氧量低、纯度高和密度高的大尺寸靶材，本发明的制备方法制备的大尺寸靶材满足溅射靶材的镀膜要求。 |
