锡铜合金靶生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910294918.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110016576B | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN110016576B | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | C22C1/02（2006.01）I;C22C1/06（2006.01）I;C22C13/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 许宏智 | 申请（专利权）人 | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林晓宏 |
| 地址 | 523000广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及靶材生产工艺领域，特别是涉及一种锡铜合金靶生产工艺，包括以下步骤，提供锡锭和铜，按需求计算比例配料，复磅，装炉，开炉，功率开至15～25KW加温预热，加温30分钟后，增加功率35～45KW，待坩埚底部开始有金属融化时，增加功率50～60KW，直至锡锭熔化，往坩埚内加入铜，并搅拌至铜全部熔化，继续搅拌使熔融液体均匀，将加热炉功率调到10～25KW，加入除气剂，并将浮渣捞出，将加热炉功率调到10～20KW，搅拌使熔融液体均匀，并调温，浇铸，保温、静置、排渣，冷却，随后出炉去模具，对靶管机加工，对成品进行C‑scan扫描，检测内部无气孔、裂纹等组织缺陷，经氦质谱检漏仪检漏，漏率≤5×10E‑10Pa·m3/s，得到合格锡铜合金靶。本发明提供一种稳定性好、纯度高的锡铜合金靶生产工艺。 |
