等静压圆柱形靶材螺纹加工方法
基本信息
| 申请号 | CN201910259659.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109940350B | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN109940350B | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | B23P15/00;C23C14/34 | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 张益 | 申请（专利权）人 | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 代理机构 | 东莞恒成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邓燕 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及靶材加工领域，特别是涉及一种等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，本发明包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。本发明通过上述加工方法，实现加工简单、产品质量好、工作效率高等目的。 |
