高灵敏度体声波硅微陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN201410640477.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104457725B | 公开（公告）日 | 2017-04-05 |
| 申请公布号 | CN104457725B | 申请公布日 | 2017-04-05 |
| 分类号 | G01C19/5719(2012.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王有东 | 申请（专利权）人 | 六安市华海电子器材科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 237000 安徽省六安市科技创业服务中心B楼507室（经济技术开发区经三东路东侧） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种微机电技术领域的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形谐振子，支撑圆柱，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的检测电极，检测电极固定凸台和基板。陀螺采用圆盘状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，所有结构全部在(111)硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用基于杠杆原理的位移放大机构将检测模态下的微小位移输出放大，提高了陀螺的灵敏度，大大简化了体声波硅微陀螺的加工工艺，降低了生产成本。 |
