一种蒸发材料制备设备及真空炉用蒸发材料收集装置
基本信息
| 申请号 | CN202220575818.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216864301U | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN216864301U | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郎庆安;季晶晶;彭小强;刘兆平 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种蒸发材料制备设备及真空炉用蒸发材料收集装置，真空炉用蒸发材料收集装置包括收集罩和阻挡件，收集罩用于扣盖于真空炉的炉膛，且所述收集罩开设有通气口，所述阻挡件安装于所述收集罩，所述阻挡件用于阻挡炉膛中蒸发的物料直接从所述通气口溢出。上述真空炉用蒸发材料收集装置，利用阻挡件阻挡收集罩中的物料直接溢出，避免了物料流失，使物料充分得到收集；利用收集罩实现在真空炉的炉膛上的直接取拿，操作简单便捷。 |
