纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202011588068.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695072A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695072A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L21/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐厚强;蒋洁安;郭炜;叶继春;张耀华;柯强 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法和应用。所述制备方法包括：对蓝宝石衬底的表面进行加工处理以形成多个缺陷；于温度为1000℃以上的条件下对所述蓝宝石衬底进行高温退火处理，使所述蓝宝石衬底表面形成纳米图形。本发明提供的纳米图形化蓝宝石衬底的制备方法简单易操作，成本低，对晶体质量损伤小，并且所制备的纳米图形化蓝宝石衬底的图案形貌、尺寸均便于调控，周期性、均匀性和重复性较好，利于批量制备。 |
