一种氘氮混合气体的现场充装设备
基本信息
| 申请号 | CN201220251740.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202590648U | 公开（公告）日 | 2012-12-12 |
| 申请公布号 | CN202590648U | 申请公布日 | 2012-12-12 |
| 分类号 | B01F3/02(2006.01)I;B01F15/04(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 周庆美;李东升;龚小雷 | 申请（专利权）人 | 上海正帆超净技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司;上海正帆超净技术有限公司 |
| 地址 | 201008 上海市闵行区春中路56号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种氘氮混合气体的现场充装设备，其特征在于：包括带有阀门的氘气存储装置及带有阀门的氘氮混合气体存储装置，氘气存储装置的阀门端及氘氮混合气体存储装置的阀门端分别与第一隔膜阀及第二隔膜阀相连，第一隔膜阀与第二隔膜阀管路相连，抽真空装置、出气端及氮充入端分别通过第三隔膜阀、第四隔膜阀及第五隔膜阀接入第一隔膜阀与第二隔膜阀之间的管路。本实用新型具有如下优点：1、简化混合气采购程序，缩短混合气采购周期；2、降低混合气采购成本、物流成本；3、现场充装，易操作，保证系统稳定性。 |
