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一种高纯二乙基锌的安全输送装置

基本信息

申请号 CN200920067428.2 申请日 -
公开（公告）号 CN201348138Y 公开（公告）日 2009-11-18
申请公布号 CN201348138Y 申请公布日 2009-11-18
分类号 F17D1/04(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;F17D5/00(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 李东升;龚小雷;冯明 申请（专利权）人 上海正帆超净技术有限公司
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 代理人 上海正帆超净技术有限公司;上海正帆科技有限公司
地址 201108上海市莘庄工业区春中路56号
法律状态 -

摘要

摘要 一种高纯二乙基锌的安全输送装置，包括二乙基锌源瓶和柜体，二乙基锌源瓶设于柜体内，二乙基锌源瓶的底部设有电子秤，其特征在于，推动气体进口用过第一手动阀、第一单向阀、第一过滤阀、第一过滤器、第一减压阀、第二单向阀、第一气动阀、第一压力传感器、第五气动阀、二乙基锌源瓶、源气动阀、第三气动阀、第一球阀、第二球阀和二乙基锌源出口组成供应支路，吹扫气源入口、排放出口、第五气动阀、二乙基锌源瓶、源气动阀、第一球阀、第二球阀及阀门组成维护支路，在柜体顶部分别设有自动风阀、干粉灭火器、红外火焰侦测器和高温探头。本实用新型的优点是彻底消除安全隐患，实现连续供液，提高产品质量和工艺的稳定性。