液态源汽化装置
基本信息
| 申请号 | CN201120160974.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202074230U | 公开（公告）日 | 2011-12-14 |
| 申请公布号 | CN202074230U | 申请公布日 | 2011-12-14 |
| 分类号 | F17C7/04(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 李东升;龚小雷;张敏 | 申请（专利权）人 | 上海正帆超净技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种液态源汽化装置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器顶部开孔插有鼓泡管路、压力表和液位计，所述汽化容器设有内部电加热棒和外部加热器，所述汽化容器出口处设置有质量流量计和蒸汽出口阀门。本实用新型提供的液态源汽化装置，通过设置鼓泡管路、内部电加热棒和外部加热器，使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。 |
