液态源汽化装置及其汽化方法
基本信息
| 申请号 | CN201110130462.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102230571A | 公开（公告）日 | 2011-11-02 |
| 申请公布号 | CN102230571A | 申请公布日 | 2011-11-02 |
| 分类号 | F17C7/04(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 李东升;龚小雷;张敏 | 申请（专利权）人 | 上海正帆超净技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
| 地址 | 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；c)使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据用气量切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化。本发明提供的液态源汽化装置及其汽化方法，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。 |
