一种气体安全输送方法

基本信息

申请号 CN200710044451.5 申请日 -
公开(公告)号 CN101358687B 公开(公告)日 2012-05-30
申请公布号 CN101358687B 申请公布日 2012-05-30
分类号 F17D3/01(2006.01)I;F17D5/00(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 李东升 申请(专利权)人 上海正帆超净技术有限公司
代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司 代理人 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆超净技术有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司
地址 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种气体安全输送方法,该控制阀包括报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警;所述的报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指示、紧急切断按钮设置于控制箱面板上,所述的电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警设置于控制器内部。与现有技术相比,本发明能够极大的提高特殊气体输送的安全性,不但能够在危险发生时及时停止气体输送,防止危险的进一步扩散,并且能够保证气体输送和工艺生产的连续性。