一种气体安全输送方法
基本信息
申请号 | CN200710044451.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101358687B | 公开(公告)日 | 2012-05-30 |
申请公布号 | CN101358687B | 申请公布日 | 2012-05-30 |
分类号 | F17D3/01(2006.01)I;F17D5/00(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 李东升 | 申请(专利权)人 | 上海正帆超净技术有限公司 |
代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆超净技术有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
地址 | 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种气体安全输送方法,该控制阀包括报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警;所述的报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指示、紧急切断按钮设置于控制箱面板上,所述的电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警设置于控制器内部。与现有技术相比,本发明能够极大的提高特殊气体输送的安全性,不但能够在危险发生时及时停止气体输送,防止危险的进一步扩散,并且能够保证气体输送和工艺生产的连续性。 |
