液态源的汽化补液装置
基本信息
| 申请号 | CN201120160976.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202118510U | 公开（公告）日 | 2012-01-18 |
| 申请公布号 | CN202118510U | 申请公布日 | 2012-01-18 |
| 分类号 | F17C13/00(2006.01)I;F17C7/04(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 李东升;缪南山;效广涛 | 申请（专利权）人 | 上海正帆超净技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器，所述补液容器中设有内部加热棒，所述内部加热棒的加热区靠近补液容器的底部，其中，所述补液容器内设有液位计，所述补液容器的底部开孔设有补液管路，所述补液管路和控制阀门相连。本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，通过在补液容器的底部设置补液管路，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。 |
