一种晶圆翻转装置
基本信息
| 申请号 | CN202121991186.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215625201U | 公开（公告）日 | 2022-01-25 |
| 申请公布号 | CN215625201U | 申请公布日 | 2022-01-25 |
| 分类号 | B65G47/90（2006.01）I;B65G47/248（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 黄海荣;谢柏弘 | 申请（专利权）人 | 深圳远荣半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市添源知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周椿 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区潭头第二工业城A区27栋102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种晶圆翻转装置。该装置包括安装面板、翻转组件、夹持组件、夹臂、接触块，翻转组件固定在安装面板上，夹持组件连接在翻转组件上，夹臂连接在夹持组件上，夹持组件带动夹臂张开或闭合，多个接触块分别连接在夹臂的内侧，夹臂闭合时多个接触块贴合住晶圆的侧边。夹臂从晶圆的侧面移动并向中间靠拢对晶圆进行夹持，避免了在晶圆上下方造成微粒污染的影响；夹臂夹持的方式只需控制张合的间距即可以适应不同尺寸的晶圆，无需更换夹持部件；同时通过接触块贴合晶圆侧面的形式完成夹持，减少了与晶圆表面的接触，也避免了对晶圆的污染。 |
