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从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法和系统

基本信息

申请号 CN201410260380.2 申请日 -
公开（公告）号 CN103991874B 公开（公告）日 2016-05-18
申请公布号 CN103991874B 申请公布日 2016-05-18
分类号 C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 濮希杰;李锋;王利强;张艳春;张晓峰 申请（专利权）人 国电内蒙古晶阳能源有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 李志东
地址 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法和系统，该方法包括：(1)对氯硅烷进行第一精馏处理，以便获得三氯氢硅、第一冷凝后液、第一冷凝后气和第一液态重组分；(2)将第一液态重组分进行第二精馏处理，以便获得第二冷凝后液、第二冷凝后气和第二液态重组分；(3)将第一冷凝后气和所述第二冷凝后气的至少之一进行冷凝处理，以便获得第三冷凝后液和第三冷凝后气；以及(4)将第一冷凝后液和第三冷凝后液的至少之一进行第三精馏处理，以便获得第四冷凝后液、第四冷凝后气和第三液态重组分。根据本发明实施例的从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法可以制备得到电子级多晶硅所需三氯氢硅。