处理多晶硅尾气的方法和系统
基本信息
| 申请号 | CN201410260376.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104016352B | 公开（公告）日 | 2016-05-18 |
| 申请公布号 | CN104016352B | 申请公布日 | 2016-05-18 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李锋;濮希杰;王利强;张艳春 | 申请（专利权）人 | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李志东 |
| 地址 | 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种处理多晶硅尾气的方法和系统，该方法包括：(1)将罐区尾气、精馏塔区尾气和还原车间吹扫尾气中的至少之一进行第一冷凝处理，以便分别得到第一氯硅烷冷凝液和第一不凝气；(2)将得到的第一氯硅烷冷凝液进行第一精馏处理，以便分别获得第一液态轻组分和第一液态重组分；(3)将得到的第一液态轻组分进行反歧化处理，以便得到三氯氢硅；(4)将得到的三氯氢硅进行吸附处理，以便得到纯净三氯氢硅；以及(5)将得到的第一液态重组分进行第二精馏处理，以便得到第二液态轻组分和第二液态重组分，并将第二液态轻组分返回步骤(2)进行第一精馏处理。该方法可以显著降低冷量的消耗，并减少尾气的排放。 |
