提纯三氯氢硅的方法
基本信息
申请号 | CN201510247059.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104828827A | 公开(公告)日 | 2015-08-12 |
申请公布号 | CN104828827A | 申请公布日 | 2015-08-12 |
分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 姚国华;张艳春;李锋;王洪光;白竟超;彭述才 | 申请(专利权)人 | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 李志东 |
地址 | 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出了一种提纯三氯氢硅的方法,包括:将三氯氢硅进行冷却处理,以便得到冷却的三氯氢硅;将冷却的三氯氢硅在吸附塔内进行吸附处理,以便吸附硼和磷并得到精制三氯氢硅,其中,吸附塔内填充有弱碱性聚合树脂。利用该方法可以同时除去三氯氢硅中的微量硼磷杂质,提高三氯氢硅质量,该方法简单易行、成本低、除杂效果良好。 |
