处理多晶硅还原尾气的系统和方法

基本信息

申请号 CN201810005888.6 申请日 -
公开(公告)号 CN109985489A 公开(公告)日 2019-07-09
申请公布号 CN109985489A 申请公布日 2019-07-09
分类号 B01D53/14(2006.01)I; C01B7/07(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 王朝阳; 王洪光; 毕明锋; 李峰; 王飞; 彭述才; 冯宝军 申请(专利权)人 国电内蒙古晶阳能源有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 赵天月
地址 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了处理多晶硅还原尾气的系统和方法。该系统包括:吸收塔,所述吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口;精馏塔,所述精馏塔具有含氯化氢富液入口、第一氯化氢混合气出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口;第一分凝器,所述第一分凝器具有第一氯化氢混合气入口、第二氯化氢混合气出口和三氯氢硅出口;第二分凝器,所述第二分凝器具有第二氯化氢混合气入口、氯化氢出口和二氯二氢硅出口。该系统采用四氯化硅作为吸收剂吸收氯化氢,并通过对含氯化氢富液进行精馏,即可实现氯化氢、四氯化硅及高沸物的分离,极大地简化工艺流程,达到了高效、节能、减小投资的目的。