制备多晶硅的方法和系统以及提纯三氯氢硅的方法和系统
基本信息
| 申请号 | CN201410260437.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104003396B | 公开（公告）日 | 2016-05-18 |
| 申请公布号 | CN104003396B | 申请公布日 | 2016-05-18 |
| 分类号 | C01B33/03(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李锋;王利强;张艳春;濮希杰;张晓峰;高阳;隋永亮;庄志远 | 申请（专利权）人 | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李志东 |
| 地址 | 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了制备多晶硅的系统和方法以及提纯三氯氢硅的方法和系统。其中，制备多晶硅的方法包括：(1)利用热水分别对氢气和三氯氢硅进行加热，以便得到经过冷却的热水和经过加热处理的氢气和三氯氢硅，(2)使经过加热处理的氢气和三氯氢硅在还原炉内发生还原反应，以便得到多晶硅和还原尾气，对所述还原炉进行水冷并得到第一热水；(3)利用还原尾气对经过冷却的热水进行加热并得到第二热水；以及(4)将第一热水和第二热水混合得到还原工段热水，并将还原工段热水作为精馏塔的热源用于提纯三氯氢硅，以便得到提纯工段返回水；其中，第一热水和第二热水均为145～155摄氏度。利用上述方法可以实现水资源和热能的循环利用，进而显著节省能耗。 |
