提纯三氯氢硅的方法

基本信息

申请号 CN201510247059.5 申请日 -
公开(公告)号 CN104828827B 公开(公告)日 2017-03-08
申请公布号 CN104828827B 申请公布日 2017-03-08
分类号 C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 姚国华;张艳春;李锋;王洪光;白竟超;彭述才 申请(专利权)人 国电内蒙古晶阳能源有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 李志东
地址 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出了一种提纯三氯氢硅的方法,包括:将三氯氢硅进行冷却处理,以便得到冷却的三氯氢硅;将冷却的三氯氢硅在吸附塔内进行吸附处理,以便吸附硼和磷并得到精制三氯氢硅,其中,吸附塔内填充有弱碱性聚合树脂。利用该方法可以同时除去三氯氢硅中的微量硼磷杂质,提高三氯氢硅质量,该方法简单易行、成本低、除杂效果良好。