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一种用于真空镀膜的螺杆传送装置

基本信息

申请号	CN201711219101.8	申请日	-
公开（公告）号	CN108085647A	公开（公告）日	2018-05-29
申请公布号	CN108085647A	申请公布日	2018-05-29
分类号	C23C14/32;C23C14/50	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	宋振纶;胡方勤;丁雪峰;杨丽景;郑必长;张青科;姜建军	申请（专利权）人	包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司
代理机构	杭州天勤知识产权代理有限公司	代理人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所;包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司;包头希迪瑞科技有限公司
地址	315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置，包括：样品台，与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合；传送模块，安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区；动力源，固定在真空镀膜腔体外部；第一传动连接件，一端与所述动力源连接，另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接；其特征在于，所述传送模块包括：螺杆，转动安装在所述样品台上，所述螺杆的螺纹作为物料槽；光杆，安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料；第二传动连接件，一端与所述螺杆传动连接，另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接；本发明可实现一次多面镀膜，无需翻面，减少开箱和再次抽真空时间，大大提高了效率，且整体结构简单、加工成本低。