一种导电薄膜连续性的测试结构及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110900691.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113644053A | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN113644053A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | H01L23/544（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L27/11502（2017.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 胡禺石;孙坚华 | 申请（专利权）人 | 无锡拍字节科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海智晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张瑞莹;张东梅 |
| 地址 | 214135江苏省无锡市新吴区弘毅路8号东庄电力电子科技园金帛座502 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种导电薄膜连续性的测试结构，其包括两个测试焊盘，以及设置于两个测试焊盘之间的至少一道沟槽，沟槽表面设置有导电薄膜，导电薄膜与待测试区域中的导电薄膜采用相同的工艺及材料、同步沉积形成。 |
