具有减少的边缘泄露的铁电存储器及其制造方法
基本信息
申请号 | CN202110727251.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113497045A | 公开(公告)日 | 2021-10-12 |
申请公布号 | CN113497045A | 申请公布日 | 2021-10-12 |
分类号 | H01L27/11507(2017.01)I;H01L49/02(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 胡禺石 | 申请(专利权)人 | 无锡拍字节科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 214028江苏省无锡市新吴区弘毅路8号金帛座502室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明揭示了铁电存储器及其制造方法的具体实施例。在一个实施例中,铁电存储单元包括第一电极、第二电极和位于第一电极和第二电极之间的铁电层。所述第一电极或第二电极中的至少一个的侧表面包括一个自所述铁电层侧表面形成的凹陷。 |
