一种卧式真空镀膜机
基本信息
申请号 | CN202021454245.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212800526U | 公开(公告)日 | 2021-03-26 |
申请公布号 | CN212800526U | 申请公布日 | 2021-03-26 |
分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 渠艳良;李雷 | 申请(专利权)人 | 派珂纳米科技(苏州)有限公司 |
代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范圆圆 |
地址 | 215000江苏省苏州市工业园区东富路32号4幢408室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种卧式真空镀膜机,包括镀膜室以及安装在镀膜室内的镀膜腔;镀膜室和镀膜腔的同一端设有相对应的进气口,镀膜室的顶部设有出气口,出气口连接有抽真空管;镀膜室的另一端设有端盖,端盖的中心安装有转动轴;转动轴的内端与镀膜腔固定连接,外端与旋转电机的输出轴相连;工作台上安装有用于驱动端盖打开或闭合的移动组件,镀膜腔的侧壁上设有进料门;端盖打开时,镀膜腔随之朝镀膜室外移动,从而通过进料门进料或取料;本实用新型结构简单,操作方便,提高了生产效率的同时还保证了镀膜质量。 |
