一种用于真空镀膜的升华加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202021454193.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213232486U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213232486U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | C23C16/448 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 渠艳良;李雷 | 申请（专利权）人 | 派珂纳米科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范圆圆 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区东富路32号4幢408室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于真空镀膜的升华加热装置，包括升华管和升华炉，升华炉通过移动组件滑动套设在升华管外；移动组件包括第一滑轨和第二滑轨，第一滑轨和第二滑轨上均滑动安装有滑轮；第一滑轨的长度方向与升华管一致；第二滑轨的长度方向与第一滑轨垂直，且第二滑轨与第一滑轨的滑轮固定连接；升华炉与第二滑轨的滑轮固定连接；将升华炉移开之后，可在升华炉预热升温的同时对升华管进行进料、抽真空，升华完成后，移开升华炉还能加快升华管的降温冷却，大大减少了操作人员实际生产时的等待时间，提高了生产效率。 |
