一种真空镀膜用升华炉
基本信息
| 申请号 | CN202021601302.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213232472U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213232472U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | C23C14/26 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 渠艳良;李雷 | 申请（专利权）人 | 派珂纳米科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范圆圆 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区东富路32号4幢408室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种真空镀膜用升华炉，包括升华管和加热炉，加热炉滑动套设在升华管外，加热炉的内壁上设有加热片；升华管的一端设有进料口以及与进料口相匹配的端盖，另一端设有出气口；出气口的内侧设有隔热滤芯，既能过滤镀膜材料内的粉尘杂质，又能隔绝温度流，防止升华管和分解炉串温，保证了镀膜质量。 |
